Precise morphology control of in-plane silicon nanowires via a simple plasma pre-treatment - Laboratoire de Physique des Interfaces et des Couches Minces (PICM)
Article Dans Une Revue Applied Surface Science Année : 2022

Precise morphology control of in-plane silicon nanowires via a simple plasma pre-treatment

Zhaoguo Xue
  • Fonction : Auteur
Wanghua Chen
  • Fonction : Auteur
Xianhong Meng
  • Fonction : Auteur
Jun Xu
  • Fonction : Auteur
Yi Shi
  • Fonction : Auteur
Kunji Chen
  • Fonction : Auteur
Linwei Yu
  • Fonction : Auteur
Pere Roca i Cabarrocas
  • Fonction : Auteur
Laboratoire de physique des interfaces et des couches minces [Palaiseau]

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Sciences de l'ingénieur [physics]
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Citer

Zhaoguo Xue, Wanghua Chen, Xianhong Meng, Jun Xu, Yi Shi, et al.. Precise morphology control of in-plane silicon nanowires via a simple plasma pre-treatment. Applied Surface Science, 2022, 593, pp.153435. ⟨10.1016/j.apsusc.2022.153435⟩. ⟨hal-04310630⟩

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